경북도 반도체 핵심부품 자립화 전초기지 구축···국비 150억 확보

‘반도체 장비 챔버용 소재·부품 제조 및 검증 테스트베드’ 공모 선정
2030년까지 총 400억원 투입, 소재부터 시제품·검증까지 전주기 지원 인프라 조성

경북도청 전경. /경북도 제공

경북도가 산업통상자원부가 주관하는 ‘반도체 챔버용 소재·부품 제조 및 검증 테스트베드 구축’ 공모사업에 최종 선정돼 국비 150억 원을 확보했다.

17일 경북도에 따르면 이번 사업은 2nm급 이하 초미세 반도체 공정 도입에 따라 극저온·수소 플라즈마 등 극한 환경을 견딜 수 있는 고부가 챔버 부품 수요가 증가하는 가운데, 특정 국가 의존도가 높은 핵심 부품의 기술 자립화를 목표로 추진된다.

현재 챔버용 3대 핵심 부품(정전척, 포커스 링, 라이너)의 대외 의존도는 90%를 웃돌고 있다. 경북도는 이번 테스트베드 구축을 통해 개발 기간을 기존 5년 이상에서 3년 이내로 단축하고, 개발 비용도 50% 이상 절감해 수입 대체 효과를 높일 계획이다.

총사업비는 400억 원(국비 150억 원, 도비 75억 원, 시비 175억 원)으로, 올해 5월부터 5년간 구미국가1산업단지 내 방림부지에 반도체 챔버용 소재·부품 테스트베드가 조성된다. 주요 내용은 △반도체 챔버용 소재·부품 기술지원센터 구축 △제조·검증 장비 44종 구축 △시제품 제작 및 시험분석 평가 지원 △수요-공급기업 네트워크 활성화 등이다.

주관기관인 한국세라믹기술원은 연면적 3000㎡ 규모의 기술지원센터를 구축해 시제품 제조공정 지원과 분석 평가를 위한 36종의 장비를 마련한다. 한국산업기술시험원은 신뢰성 평가 및 검증 시스템을 확립해 공인 시험성적서를 발행하며, 구미전자정보기술원은 장비 예약 및 공동 R&D 발굴 등 맞춤형 이용 가이드를 제공한다. 또한 한국반도체산업협회는 전시회와 기술 시연회를 통해 기업 간 협력과 홍보를 지원한다.

양금희 경북도 경제부지사는 “이번 국비 확보는 경북이 대한민국 반도체 소재·부품의 중심지임을 다시 한번 입증한 쾌거”라며 “구미 반도체 특화단지를 중심으로 초격차 기술 경쟁력을 확보해 글로벌 반도체 공급망을 주도해 나가겠다”고 밝혔다.

/피현진기자 [e-mail]