구미서 ‘초순수 실증플랜트’ 설계시공 국산화 100%

SK실트론 현재 하루 1천200t 공급 성공·성능검증도 통과
5월부터 본격 투입… 구미반도체특화단지 지정 중요성 부각

[구미] 구미공단에 위치한 SK실트론 ‘초순수 실증플랜트’에서 연말 설계시공 국산화 100％ 완성 전망에 따라 구미 반도체 특화단지 지정이 더욱 힘을 받게 됐다.

초순수는 불순물이 0％에 가까운 물을 뜻한다. 반도체 웨이퍼를 세정할 때 사용되는데 물에 불순물이 있을 경우 수율 등에 문제가 발생하기 때문에 반도체 공정에 있어서 초순수는 필수 소재이다.

글로벌 반도체 시장이 나노(10억분의 1)단위 경쟁을 벌이며 웨이퍼 선폭이 작아질수록 초순수가 더욱 중요해진다.

현재 삼성전자, SK하이닉스 반도체 공장내 초순수 시설은 일본 초순수 기업들이 설계하고, 장치는 일본이나 미국산을 사용하고 있으며 분석은 일본 기업에 맡기고 있다.

이에 환경부와 수자원공사에서는 일본에 의존하던 것에서 벗어나고자 2021년 6월 환경부 과제로 선정해 초순수 국산화를 위해 총력을 기울이고 있으며, 올해 2월 초 윤석열 대통령 또한 중요성을 인식하고 구미 SK실트론 공장내 ‘초순수 실증 플랜트’를 시찰했다.

윤 대통령의 시찰로 ‘초순수 실증 플랜트’는 더욱 급물살을 타게 되었고, 현재 하루 1천200t 초순수 공급에 성공, 성능검증을 통과함에 따라 국산화 초순수가 5월부터 본격적으로 투입될 예정이다.

초순수 국산화의 성과가 가시화됨에 따라 초순수 국산화의 중심에 있는 구미의 반도체 특화단지 지정의 중요성 또한 부각되고 있다.

김장호 구미시장은 “구미가 국가첨단전략산업(반도체) 특화단지로 지정된다면 미국·중국·일본·유럽연합 등 경쟁국이 자국내 반도체 공급망 강화와 미래시장 선점을 위해 치열한 경쟁을 벌이는 만큼 초순수 국산화를 위한 지원을 더욱 강화해 국산화를 앞당기는데 기여하게 될 것이다”고 밝혔다.

/김락현기자 [e-mail]