미국, ASML EUV 중국 유출 의혹 제기…ASML “전면 사실무근”

러트닉 상무장관, ASML 측에 직접 우려 전달
ASML “중국 내 EUV 장비 단 한 대도 없어” 반박
中 독자 EUV 개발 움직임에 미·중 반도체 갈등 재점화

네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 최첨단 극자외선(EUV) 리소그래피 시스템. /ASML 홈페이지 제

미국 정부가 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비가 수출 규제를 위반해 중국에 반입됐을 가능성을 제기하면서 미·중 반도체 패권 경쟁이 다시 격화하고 있다.

19일 블룸버그통신에 따르면 하워드 러트닉 미국 상무부 장관은 최근 ASML 고위 임원들과의 회의에서 EUV 노광장비 1대가 중국으로 유입됐을 수 있다는 우려를 직접 전달했다.

EUV 노광장비는 첨단 반도체 생산의 핵심 설비로, 삼성전자와 TSMC 등이 최첨단 공정에 활용하고 있다. 미국은 트럼프 1기 행정부 시절부터 해당 장비의 중국 수출을 금지해 왔으며, 네덜란드 정부도 EUV는 물론 구형인 DUV 노광장비에 대해서도 대중국 수출 제한을 강화하고 있다.

미국 정부는 ASML이 EUV 관련 부품과 운송 장비를 중국으로 수출한 정황을 확보했다고 주장하고 있지만, 정보 출처 보호를 이유로 구체적인 증거는 공개하지 않았다. 트럼프 행정부 내에서는 ASML이 안보보다 수익성을 우선시하고 있다는 우려도 제기된 것으로 알려졌다.

반면 ASML은 관련 의혹을 전면 부인했다.

ASML 대변인은 “중국에 EUV 장비는 물론 EUV 전용 부품이나 모듈, 관련 장비를 수출한 적도 없다”며 “현재 전 세계에서 가동 중인 EUV 장비 314대를 모두 추적하고 있으며 중국 내 설치된 장비는 단 한 대도 없다”고 밝혔다.

또 EUV 장비는 스쿨버스 크기의 초대형 설비로 이동 과정에서 자동 추적 시스템이 작동하기 때문에 ASML의 개입 없이 반출이나 이전이 사실상 불가능하다고 설명했다.

이번 논란은 중국의 첨단 반도체 자립 움직임과 맞물려 더욱 주목받고 있다.

앞서 로이터통신은 지난해 말 ASML 출신 엔지니어들이 중국에서 EUV 장비를 역설계해 시제품 시험을 진행하고 있으며, 2028년 상용화를 목표로 하고 있다고 보도한 바 있다.

또 Huawei는 지난달 독자적인 ‘로직폴딩(Logiс Folding)’ 기술을 활용해 2031년까지 1.4나노미터급 반도체 양산에 나서겠다는 계획을 공개했다. 중국 최대 파운드리 업체인 SMIC 역시 EUV 대체 기술 개발에 속도를 내고 있는 것으로 전해졌다.

업계에서는 중국이 EUV 없이도 첨단 반도체 양산 체제를 구축할 경우 미국이 주도해온 대중 반도체 수출 규제 전략의 효과가 크게 약화될 수 있다고 보고 있다.

특히 이번 의혹 제기는 미국과 유럽연합(EU) 간 통상 갈등이 이어지는 가운데 제기된 것으로, 향후 반도체 공급망과 첨단기술 통제 정책을 둘러싼 미국과 유럽 간 마찰로 확산될 가능성도 제기된다.

/김진홍기자 [e-mail]