영주공장 내 생산시설 15t 규모
2023년까지 국산화율 70%목표

[영주] SK머티리얼즈가 초고순도(순도 99.999%) 불화수소 가스 양산을 시작했다고 18일 밝혔다. <사진>

초고순도 불화수소 가스는 반도체 제조에 쓰이는 세정 가스로, 반도체 공정 미세화로 수요가 급증하고 있지만 해외 의존도가 100%에 달하는 제품이다.

SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 성공한 후, 영주 공장 내 15t 규모의 생산시설을 건설하는 등 국산화 작업을 진행해왔다.

이번 양산을 통해 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올린다는 목표다. 불화아르곤 포토레지스트는 해외의존도가 90%에 달해, 제품 양산이 본격화 되면 국내 반도체 제조사들에 안정적인 소재 공급이 가능해질 전망이다. /김세동기자 kimsdyj@kbmaeil.com

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